清華大學材料科學與工程研究院《材料科學論壇》

學術報告

報告題目：聚焦離子束技術在微電子和材料分析領域的應用

報告人：達曉冬，納瑞科技（北京）有限公司

報告時間：2019年1月14日（星期一）下午3:00

地點：清華大學主樓11區（東配樓）二層，電子顯微鏡中心228房間

聯系人：鐘虓龑老師 62782347

報告摘要：

聚焦離子束（Focused Ion Beam）作為一個非常有效的微加工和微觀分析手段越來越多被應用于工業和科研領域。已經成為很多微觀分析領域必不可少的手段。FIB在不同場景的應用具有很大的優勢，同時這個技術也有局限性。針對FIB在微電子IC産業鍊各個環節的典型應用案例我們會做一個介紹。同時會介紹一些FIB技術的原理和局限性所造成的設備形态特征差别。如何根據不同應用場景選擇合适的設備對終端用戶非常重要，根據經驗會和大家做一個分享。

報告人簡曆：

達曉冬

1980年到1984年 蘭州大學，理論物理專業，學士

1984年到1987年 中國空間技術研究院，蘭州物理研究所獲真空物理專業理學碩士

1987年到1989年 中國空間技術研究院，蘭州物理研究所工作從事空間微重力研究工作

1989年到 1991年 德國吉森大學物理研究所從事中西德空間微重力合作研究工作。

1991年到1992年 德國吉森大學物理研究所開始物理博士學習，專業方向：載人火星計劃

1992年到1995年 美國内華達州立大學，物理系，攻讀物理博士，專業方向：原子物理 （提前以理學碩士畢業）

1995年到2004年 美國FEI公司總部工作。先後擔任售後服務工程師，系統工程師，資深應用 工程師。

2004年回國開展FIB技術研發和技術應用服務業務， 成立納瑞科技(北京)有限公司任總經理至今。已經在全國各個IC産業聚居地建立了8個分析實驗室，為IC設計和IC生産企業提供FIB技術應用服務。目前具備國内最高端芯片線路修改能力。